罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从吸气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然。当转子继续转动时，气体排出泵外。

      罗茨真空泵的   大优点是：在较低入口压力时具有较高的抽气速率，但它不能单独使用，   有一台前级真空泵串联。待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许入口压力时，罗茨真空泵才能开始工作。并且在一般情况下，罗茨泵不允许高压差时工作，否则将会过载和过热而损坏。

      罗茨泵在泵腔内，有二个"8"字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有   的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的   真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的   真空。为了提高泵的   真空度，可将罗茨泵串联使用。